光刻膠涂布控溫冷水機(jī)組選型，價格，方案等與江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司溝通，多案例供參考。

康士捷生產(chǎn)的工業(yè)控溫設(shè)備有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、超低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非標(biāo)定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。

以下列出部分參數(shù)，貴司參數(shù)溝通選型后確認(rèn)。

光刻膠涂布控溫冷水機(jī)組核心作用

• 溫度穩(wěn)定性：維持光刻膠涂布環(huán)境（如基板、噴頭、腔體）的恒溫（通常±0.1℃甚至更高精度），避免溫度波動導(dǎo)致膠厚不均或圖案缺陷。

• 粘度控制：光刻膠粘度對溫度敏感，控溫確保膠體流動性一致，保障涂布均勻性。

• 設(shè)備冷卻：防止涂布機(jī)、烘烤板等部件過熱，延長設(shè)備壽命。

光刻膠涂布控溫冷水機(jī)組關(guān)鍵性能要求

• 高精度控溫：需達(dá)到±0.1℃或更高（如±0.01℃），適應(yīng)納米級制程。

• 快速響應(yīng)：動態(tài)調(diào)節(jié)能力，應(yīng)對工藝中的溫度突變需求。

• 流量與壓力穩(wěn)定：確保冷卻液流速均勻，避免壓力波動影響工藝。

• 耐腐蝕設(shè)計：部分光刻膠含化學(xué)溶劑，冷水機(jī)需防腐蝕材料（如不銹鋼管路）。

• 低振動/低噪音：避免振動干擾精密涂布過程。

光刻膠涂布控溫冷水機(jī)組選型注意事項

• 工藝匹配：根據(jù)光刻膠類型（如ArF、KrF、EUV）確定溫度范圍和精度。

• 系統(tǒng)兼容性：與涂布機(jī)、顯影機(jī)等設(shè)備的接口和控溫需求匹配。

• 節(jié)能性：變頻壓縮機(jī)、熱回收設(shè)計可降低運行成本。

• 水質(zhì)要求：高純度去離子水或防凍液，避免管道結(jié)垢。

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